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웨이퍼제작 1

1. 실리콘 웨이퍼 Engineering

Si wafer 만들기 위해 첫 단계는 Si를 정제하는 것이다. 모래의 대부분은 Si으로 구성된다.​모래를 purification(=엄청 pure 하게 만들기)을 진행하고 -> Ingot을 만든다 ->  이후 원하는 두께에 맞게 swaing(자르기) -> 이후 우리가 흔히 알고 있는 모양의 원형 wafer이 표면을 다듬어준다.(이 과정을 polishing이라 함.) ->  이후 해당 wafer에 문제는 없는지, defect는 없는지 등을 test 하는 과정이 필요하다. ​모래를 pure 하게 하는 방법은 탄소랑 비비고 섞고 해서 (전문용어로 말하면 탄소로 SiO2의 O를 환원시킴)98% 정도 pure 한 Si을 얻는다. 98% 정도의 purity를 가진 Si를 MGS(Metalligrical Grade ..

카테고리 없음 2024.12.28
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